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使用的飛納電鏡，荷蘭VDL ETG公司正在探索清潔度提升的極限

在高科技行業(yè)中，組件的發(fā)展趨勢是變得越來越干凈，例如對于真空系統(tǒng)的組件?？蛻舨荒苋淌苣呐率呛苄〉幕覊m顆粒。然而，為了去除它們，生產(chǎn)商必須首先發(fā)現(xiàn)它們。用的飛納臺式掃描電鏡，可以探測到萬分之一毫米的粒子。荷蘭VDL ETG公司為了清潔晶元而購買了飛納電鏡。在常規(guī)正常生產(chǎn)中，也被證明是非常有用的。

研究清潔的方法

“如果客戶的目標(biāo)是追求越來越干凈，那么我們就必須知道正在和他們討論的是什么。”“知識就是力量”，Geert Jakobs說到。他是VDL ETG技術(shù)開發(fā)公司的總。他的公司，包括TNO和ASM Europe，正在一起參與一個歐洲研究項(xiàng)目，以研究開發(fā)新的晶圓清潔工藝。“我們需要更多地了解清潔產(chǎn)品的制造，為此，這個項(xiàng)目是一個不錯的平臺。”它是關(guān)于從組件表面去除微小的100納米(一納米是百萬分之一毫米)的塵埃顆粒。

我們在這個項(xiàng)目中的目標(biāo)是研究公司必須使用的生產(chǎn)方法。這些粒子非常小，以至于不能再用傳統(tǒng)的技術(shù)看到它們（比如近紫外光直接檢查）。因此，我們需要尋找一種方法來檢測這些粒子，并確定它們的來源。

荷蘭產(chǎn)品

VDL ETG購買了來自荷蘭埃因霍溫的飛納臺式掃描電鏡。飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 不僅可以用來成像，還可以用其內(nèi)置的能譜儀EDS進(jìn)行化學(xué)元素分析。

技術(shù)Luuk Berkelaar說，正是飛納電鏡的技術(shù)指標(biāo)和實(shí)際性能贏得了VDL ETG的青睞。“分辨率和放大倍數(shù)是對我們來說zui重要的參數(shù)。此外，利用元素分析可以確定粉塵顆粒的化學(xué)成分，從而可以追溯其根本原因。”此外，VDL ETG還購買了于測量和分類粉塵顆粒的顆粒統(tǒng)計分析測量系統(tǒng)，以及表面粗糙度的測定軟件。

VDL ETG采購飛納電鏡的主要原因是什么呢。飛納Phenom是一個荷蘭產(chǎn)品確實(shí)很重要，但不是直接決定因素；競爭對手產(chǎn)品也同樣被關(guān)注。特別重要的是的指標(biāo)參數(shù)——以及另一種支持荷蘭產(chǎn)品的觀點(diǎn)——距離Phenom-World總部更近。

Berkelaar說到：“Phenom-World公司非常友好和開放，我們直接與了解產(chǎn)品技術(shù)的人員面對面交流”。來自VDL ETG的工作人員對電鏡系統(tǒng)的工作和軟件使用提供了非常好的反饋：還有什么掃描電鏡可以稍微不同甚至更好？”

飛納Phenom的優(yōu)點(diǎn)是比它的競爭對手更緊湊，所以它可以被放置在一個標(biāo)準(zhǔn)的超凈臺里面(為了防止環(huán)境里的污染物進(jìn)入。

檢測能力建設(shè)

飛納臺式掃描電鏡現(xiàn)在在埃因霍溫（Eindhoven）的VDL ETG的超凈臺里操作使用。Berkelaar說；“我們?yōu)榱悴考纳a(chǎn)過程帶來變化，并研究其對生產(chǎn)的零部件的顆粒清潔度的影響。有各種表面處理和生產(chǎn)工藝。”

此外，飛納臺式掃描電鏡已經(jīng)被用于幫助解決常規(guī)生產(chǎn)中的質(zhì)量問題，Geert Jakobs補(bǔ)充道。“例如，我們可以看到奇怪的斑點(diǎn)，裂縫和焊縫。飛納Phenom已經(jīng)證明了它的價值，并在我們的團(tuán)隊(duì)中對實(shí)驗(yàn)室檢測能力做出了貢獻(xiàn)。

VDL ETG的樣品是荷蘭*個在超凈臺監(jiān)測清潔度的樣品。我們現(xiàn)在正研究是否也有其他環(huán)境需要非常干凈的應(yīng)用案例。這樣飛納電鏡將幫助更多的客戶提供超凈環(huán)境中的掃描電鏡檢測。

350x放大倍率下的樣品圖像

同種樣品的化學(xué)元素分析

VDL ETG

自2006年以來，VDL Enabling Technologies Group (ETG)成為VDL Group的一部分。VDL Group公司總部位于荷蘭的埃因霍溫，是一家專注于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售半成品、公共汽車、客車等產(chǎn)品及汽車組裝的實(shí)業(yè)公司。